真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為:利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展,真空泵的種類已發(fā)展了很多種,其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12Pa以上的極高真空范圍。
真空區(qū)域的劃分
粗真空 |
105~103Pa |
低真空 |
103~10-1Pa |
高真空 |
10-1~10-6Pa |
超高真空 |
10-6~10-10Pa |
極高真空 |
<10-10Pa |
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真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。
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